應用及案例

 

●  低溫容器檢測

●  大學/研究所

●  泄漏檢測

●  環境監測

●  汽車制造

●  過程工藝氣體測量

 

產品特色

 

●  數字化產品

●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數可控：質量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度：可優于0.5%

●  可測范圍廣，0.01~99%

●  滿量程超低壓損為360Pa

●  閥門響應時間快，優于100ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

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精度升級

 

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度      ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）

質量流量高精度         ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）

重復性                       ±（0.1%   讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數 / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差

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性能指標

 

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                  一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量和控制范圍    0.01～99% 

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）見上段精度升級部分

                  ±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ±（0.2 %讀數+0.02 %滿量程）

質量流量溫度漂移    0.03%滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應時間    優于100 ms

預熱時間    ＜ 1 s

標定工況    25 ℃ & 1Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.5 %讀數（讀數＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@19200波特率；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       質    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、 鋁

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

 *如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

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選項配件

待更新。

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安裝手冊

待更新。

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機構認證

待更新。

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尺寸詳圖

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尺寸壓損

 

滿量程質量流量控制器	滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中	外觀尺寸	連接接口2
0.5 sccm - 2 sccm	0.06	3.9''H x   3.4''W x 1.1''D	M-5 （10-32）內螺紋 （含M-5 （10-32） 外螺紋Buna-N O型密封圈 至1/8''  NPT內螺紋）
5 sccm - 10 sccm	0.08
20 sccm	0.07
50 sccm - 200 sccm	0.07	4.1''H x   3.6''W x 1.1''D	1/8'' NPT 內螺紋
500 sccm	0.08
1 slpm	0.10
2 slpm	0.18
5 slpm	0.10	5.5''H x   7.7''W x 2.3''D	1/4''NPT內螺紋
10 slpm	0.12
20 slpm	0.26
40 slpm	0.14	5.5''H x   7.7''W x 2.3''D	1/2'' NPT 內螺紋
50 slpm	0.17	5.5''H x   7.3''W x 2.3''D	3/4'' NPT 內螺紋
100 slpm	0.30
250 slpm	0.69
500 slpm	0.69	5.5''H x   8.1''W x 2.7''D	3/4'' NPT 內螺紋
1000 slpm	1.65	6.3''H x   9.8''W x 4.5''D	2'' NPT 內螺紋
1、公制當量見圖紙。 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。

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產品大圖

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氣體編碼